Tarcza molibdenowa to specjalna tarcza metalowa wykonana z molibdenu, stosowana głównie w dziedzinach zaawansowanych technologii. Molibden, srebrzystobiały metal, znany jest z wysokiej temperatury topnienia oraz dobrej przewodności elektrycznej i cieplnej, dzięki czemu pozostaje stabilny w środowiskach o wysokiej temperaturze i wysokim ciśnieniu. Dlatego tarcze molibdenowe odgrywają ważną rolę w produkcji półprzewodników, technologii osadzania cienkowarstwowego, przemyśle fotowoltaicznym i sprzęcie do obrazowania medycznego. Tarcze molibdenowe można wytwarzać metodą prasowania izostatycznego na gorąco (HIP), wytapiania, chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) i fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD). Każda metoda ma swoją charakterystykę i zakres zastosowania. Wybierz odpowiednią technologię przygotowania. Zależy od końcowego zastosowania wymaganego celu molibdenowego, wymaganej wydajności i względów ekonomicznych.
Połączony podkład miedziany nie tylko poprawia docelową wydajność, ale także pomaga obniżyć koszty operacyjne, co jest szczególnie ważne w branżach, które opierają się na długotrwałych, stabilnych procesach osadzania cienkowarstwowego. Ma następujące zalety:
1. Poprawa przewodności cieplnej: Miedź ma wyjątkowo wysoką przewodność cieplną (około 400 W/m·K), która jest znacznie wyższa niż molibden. Wiązanie tarczy molibdenowej z miedzianą płytą nośną może znacznie poprawić ogólną wydajność przewodzenia ciepła przez tarczę. Podczas procesów powlekania z dużą szybkością pomaga to szybciej odprowadzać ciepło od tarczy molibdenowej, zapobiegając w ten sposób przegrzaniu tarczy.
2. Zredukuj naprężenia termiczne: Podczas procesu osadzania naprężenia termiczne materiału docelowego mogą powodować pęknięcia i pęknięcia. Wysoka przewodność cieplna miedzianej płyty nośnej pomaga równomiernie rozproszyć ciepło i zmniejsza koncentrację naprężeń termicznych na tarczy molibdenowej, zmniejszając w ten sposób uszkodzenia wywołane ciepłem.
3. Wydłuż żywotność: Zmniejszając naprężenia termiczne i poprawiając wydajność cieplną, miedziana płyta tylna może znacznie wydłużyć żywotność tarczy molibdenowej. Ta kombinacja pomaga zapobiegać przedwczesnemu zużyciu lub uszkodzeniu tarczy podczas użytkowania, co skutkuje rzadszą wymianą i niższymi kosztami długoterminowymi.
4. Popraw stabilność mechaniczną: Dodatek miedzianej płyty nośnej zwiększa również ogólną stabilność mechaniczną celu. Jest to szczególnie ważne podczas szybkich procesów osadzania, ponieważ pomaga zachować integralność strukturalną targetu i zmniejszyć uszkodzenia spowodowane wstrząsami mechanicznymi lub wibracjami.
5. Duża zdolność adaptacji: Ta metoda wiązania pozwala dostosować grubość i kształt miedzianej płyty bazowej do różnych wymagań aplikacji, zapewniając większą elastyczność i możliwości adaptacji. Dzięki temu cele molibdenowe mogą lepiej spełniać wymagania określonych urządzeń i procesów osadzania.
