Rozpylanie docelowe, jako podstawowa technologia inżynierii powierzchni i technologii cienkowarstwowej, odnosi się do wykorzystania jonów lub innych naładowanych cząstek do uderzania w cel w stanie o wysokiej energii, wywołując w ten sposób transfer energii kinetycznej i transport materiału docelowych atomów lub cząsteczek . Wzbudzone atomy lub cząsteczki odrywają się od docelowej powierzchni i osadzają się na podłożu ruchem z dużą prędkością, tworząc cienką warstwę o jednolitej lub specyficznej strukturze.
1. Klasyfikacja
(1) Rozpylanie DC
Zasada: Rozpylanie DC wykorzystuje stałe źródło prądu stałego jako źródło energii i jest odpowiednie głównie dla celów o dobrej przewodności, takich jak metale.
Cechy: Ma zalety prostego sprzętu, łatwej obsługi i dużej szybkości osadzania. Nie dotyczy to materiałów izolacyjnych, gdyż nie zapewniają one efektywnego transportu ładunku.
(2) Rozpylanie o częstotliwości radiowej
Zasada: Rozpylanie o częstotliwości radiowej wykorzystuje moc o częstotliwości radiowej (zwykle w zakresie MHz), dzięki czemu można napylać również materiały nieprzewodzące (takie jak ceramika, tlenki).
Cechy: Możliwość napylania materiałów izolacyjnych z większą równomiernością osadzania. Jednak ze względu na złożony system zasilania i sterowania koszty i trudności w utrzymaniu są stosunkowo wysokie.
(3) Rozpylanie magnetronowe
Zasada: W oparciu o tradycyjne rozpylanie, pole magnetyczne jest generowane poprzez umieszczenie magnesów w pobliżu celu, zwiększając w ten sposób gęstość i stabilność plazmy.
Cechy: Poprawiona wydajność napylania i jakość folii, zmniejszone zużycie docelowe. Może pracować przy niższym ciśnieniu powietrza, zmniejszając w ten sposób wpływ cząstek gazu na folię.
(4) Rozpylanie reaktywne
Zasada: Podczas procesu napylania reaktywne gazy (takie jak tlen, azot) są wprowadzane do atmosfery roboczej w celu chemicznej reakcji z atomami docelowymi, tworząc złożoną warstwę.
Charakterystyka: Można przygotować różnorodne warstwy złożone, takie jak tlenki, azotki, węgliki itp. Sterowanie jest jednak skomplikowane i wymaga precyzyjnej regulacji natężenia przepływu i ciśnienia gazu reaktywnego.
(5) Pulsacyjne rozpylanie magnetronowe o dużej mocy
Zasada: Użyj zasilacza impulsowego o dużej mocy, aby wygenerować plazmę o dużej gęstości przez krótki czas, aby zwiększyć szybkość rozpylania.
Cechy: Można uzyskać gładsze i gęstsze folie. Jednak ze względu na duże zużycie energii zarządzanie temperaturą i trwałość urządzenia stają się wyzwaniami.
2. Zastosowanie
(1) Przemysł półprzewodników
Technologię napylania stosuje się do osadzania warstw przewodzących, izolacyjnych i ekranujących, które mają kluczowe znaczenie przy wytwarzaniu wysokowydajnych układów scalonych i urządzeń mikroelektronicznych.
(2) Zastosowania optyczne
Lustra i powłoki antyrefleksyjne: Cienkie folie przygotowane technikami napylania mogą być stosowane do produkcji różnorodnych elementów optycznych, takich jak soczewki, soczewki i zwierciadła w systemach laserowych. Warstwa pochłaniająca światło i warstwa przewodząca w ogniwach słonecznych są również często przygotowywane przez napylanie katodowe.
(3) Powłoka dekoracyjna
Przemysł motoryzacyjny i budowlany: Folie napylane stosuje się do powłok dekoracyjnych na częściach samochodowych i materiałach budowlanych, nie tylko zapewniając estetyczny wygląd, ale także zwiększając odporność materiału na zużycie i korozję. Obudowy i elementy dekoracyjne elektroniki użytkowej, takiej jak telefony komórkowe i komputery, również często korzystają z technologii napylania, aby pokryć odporne na zużycie i piękne powłoki.
(4) Specjalne folie funkcjonalne
Może osadzać warstwy o wysokiej twardości i odporne na zużycie na powierzchniach narzędzi i form, przedłużając żywotność narzędzi. Ponadto folie napylane można wykorzystać do regulacji przepuszczalności światła w technologii inteligentnych okien w budynkach i samochodach.
(5) Dziedzina biomedyczna
Biokompatybilne folie są zazwyczaj osadzane technikami napylania w celu zwiększenia kompatybilności sztucznych stawów lub implantów dentystycznych z organizmem ludzkim.
FANMETAL może zapewnić klientom różne cele do napylania metali, takie jak cele do napylania tytanu i aluminium, cele do napylania wolframu i cele do napylania chromu i metalu itp.
