Powłoka rozpylająca magnetronowa to nowy rodzaj fizycznej metody powlekania parą, która wykorzystuje system działa elektronowego do emitowania i skupiania elektronów na powlekanym materiale, dzięki czemu napylane atomy są zgodne z zasadą konwersji pędu, dzięki czemu materiał ma wyższą wytrzymałość mechaniczną nieruchomości. Materiał do platerowania nazywany jest tarczą rozpylającą, która obejmuje głównie metale, stopy i związki ceramiczne. FANMETAL może zapewnić klientom wysokiej jakości cele metalowe, takie jakCel rozpylania czystego chromu, złoty cel rozpylania,Tytanowo-aluminiowy cel do rozpylaniai tarcza do rozpylania miedzi. Wyślij nam e-mail, aby powiedzieć nam o swoich potrzebach.
1. Czystość
Czystość jest jednym z głównych wskaźników wydajności celu, ponieważ czystość celu ma ogromny wpływ na wydajność filmu. Jednak w praktycznych zastosowaniach wymagania dotyczące czystości celu są również inne. Na przykład, wraz z szybkim rozwojem przemysłu mikroelektronicznego, wielkość płytek krzemowych wzrosła z 6", 8" do 12", a szerokość okablowania została zmniejszona z 0,5 um do 0 0,25 um, 0 0,18 um, a nawet 0 0,13 um. Poprzednia docelowa czystość wynosiła 99,995 procent Może spełnić wymagania procesu 0 0,35 um IC, podczas gdy przygotowanie {{15 }}.18um linii wymaga 99,999 procent lub nawet 99,9999 procent docelowej czystości.
2. Zawartość zanieczyszczeń
Zanieczyszczenia w docelowym ciele stałym oraz tlen i wilgoć w porach są głównymi źródłami zanieczyszczeń osadzonej warstwy. Materiały docelowe do różnych celów mają różne wymagania dotyczące różnych zawartości zanieczyszczeń. Na przykład cele z czystego aluminium i stopów aluminium stosowane w przemyśle półprzewodnikowym mają specjalne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i pierwiastków radioaktywnych.
3. Gęstość
W celu zmniejszenia porów w docelowym ciele stałym i poprawienia wydajności napylonej warstwy, zwykle wymagana jest większa gęstość celu. Gęstość celu wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne filmu. Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza wydajność filmu. Ponadto zwiększenie gęstości i wytrzymałości tarczy sprawia, że tarcza jest w stanie lepiej wytrzymać stres termiczny podczas procesu napylania katodowego. Gęstość jest również jednym z kluczowych wskaźników wydajności celu.
4. Ziarno i rozkład ziarnowy
Zwykle materiałem docelowym jest struktura polikrystaliczna, a wielkość ziarna może wahać się od mikronów do milimetrów. W przypadku tego samego materiału docelowego szybkość rozpylania celu z drobnymi ziarnami jest większa niż w przypadku celu z grubymi ziarnami; a rozkład grubości warstwy osadzonej przez napylanie katodowe przy mniejszej różnicy wielkości ziarna (równomierny rozkład) jest bardziej równomierny.
